日本無機專區
Nouvelle TGMML 低有機物/低硼ULPA濾網
產品概述
日本無機Nouvelle系列低有機物/低硼ULPA濾網，同時大幅降低有機釋氣與硼含量。是半導體先進製程中對AMC控制最嚴格區域的最佳選擇。
產品特性
型號：Nouvelle TGMML
效率：ULPA等級（≥99.9995% @MPPS）
特點：低有機物（Low Organic）+ 低硼（Low Boron）
濾材：超低釋氣超細玻璃纖維
製造商：日本無機株式會社（NIPPON MUKI）
詳細說明
Nouvelle TGMML為日本無機最高等級的ULPA濾網，同時控制有機物釋氣（TOC）與硼釋放量至業界最低水準。
專為EUV微影區等對化學潔淨度要求趨近於零的超潔淨環境設計。
