日本無機專區
Nouvelle TGML 低有機物/低硼HEPA濾網
產品概述
日本無機Nouvelle系列低有機物/低硼HEPA濾網，同時將有機釋氣與硼含量降至極低。是對AMC控制有嚴格要求的先進製程最佳選擇。
產品特性
型號：Nouvelle TGML
效率：HEPA等級（≥99.97% @0.3μm）
特點：低有機物 + 低硼
濾材：超低釋氣玻璃纖維
製造商：日本無機株式會社（NIPPON MUKI）
詳細說明
Nouvelle TGML低有機/低硼HEPA濾網，以最高標準的化學潔淨度，服務於半導體先進製程中對AMC零容忍的潔淨環境。
