日本無機專區
BGMML 低硼ULPA濾網
產品概述
日本無機低硼ULPA濾網，大幅降低濾材中的硼含量，避免硼污染對半導體製程的影響。特別適用於對硼（Boron）敏感的先進晶圓製造環境。
產品特性
型號：BGMML
效率：ULPA等級（≥99.9995% @MPPS）
特點：低硼（Low Boron）設計
濾材：低硼超細玻璃纖維
製造商：日本無機株式會社（NIPPON MUKI）
詳細說明
BGMML低硼ULPA濾網採用特殊的低硼玻璃纖維配方，將濾材中的硼釋放量控制在極低水準。
針對半導體擴散與離子植入等對硼污染極為敏感的製程區域設計。
