日本無機專區
ATMCH-SL 250°C 無矽耐高溫大風量HEPA濾網
產品概述
日本無機250°C耐高溫大風量HEPA濾網（無矽型）。完全不含矽酮成分，避免高溫下矽氧烷揮發造成製程污染。特別適用於對矽污染敏感的半導體與光學製程。
產品特性
型號：ATMCH-SL
耐溫：250°C（連續使用）
效率：HEPA等級（≥99.97% @0.3μm）
特點：無矽（Silicone-free）、大風量
濾材：耐高溫玻璃纖維
密封：非矽酮密封材料
框架：不鏽鋼
製造商：日本無機株式會社（NIPPON MUKI）
詳細說明
ATMCH-SL為ATMCH的無矽版本，完全排除矽酮成分。
在高溫環境下不會釋放矽氧烷等揮發性矽化合物，是對矽污染零容忍的半導體先進製程及光學鍍膜設備的理想選擇。
