專業服務
PAO測試
產品概述
PAO（Poly-Alpha-Olefin）檢漏測試為無塵室 HEPA / ULPA 高效空氣過濾器的現場完整性與洩漏檢測標準方法。佰聖科技依據 IEST-RP-CC034、ISO 14644-3 及美國聯邦標準 FED-STD-209E 規範，使用氣溶膠發生器於濾網上游均勻產生 PAO 標準油氣溶膠，再以氣溶膠光度計（Photometer）對下游出風面及濾網與框體接合處進行全面掃描，判定濾網本體是否破損、邊框膠合是否洩漏、安裝密封是否確實，確保無塵室潔淨等級及 GMP 驗證需求。
產品特性
| 項目 | 規格 / 方法 |
|---|---|
| 測試依據 | IEST-RP-CC034 / ISO 14644-3 / FED-STD-209E |
| 適用濾網 | HEPA（H13/H14）、ULPA（U15 以上） |
| 測試氣溶膠 | PAO（Poly-Alpha-Olefin）＊符合 FDA 食品級 |
| 上游濃度 | 10 ~ 100 μg/L |
| 掃描速度 | ≤ 50 mm/s |
| 採樣頭距濾網 | ≤ 25.4 mm (1 inch) |
| 採樣流量 | 28.3 L/min（1 CFM）± 10% |
| 合格判定 | 下游穿透率 ≤ 0.01%（H14）/ ≤ 0.005%（ULPA） |
| 報告內容 | 測試報告書 + 洩漏點位置圖 + 合格標籤 |
詳細說明
## 服務內容
佰聖科技提供無塵室 HEPA / ULPA 高效過濾器現場完整性測試（PAO Leak Test）服務，涵蓋測試前風量/風速確認、氣溶膠均勻性驗證、全面積掃描檢漏、洩漏點修補建議、合格貼標與正式驗證報告，廣泛應用於半導體、光電、生醫、製藥 GMP 及醫療院所等潔淨環境。
## 測試原理
- **上游注入**：以冷式 / 熱式氣溶膠發生器於濾網上游產生粒徑約 0.3 μm 的 PAO 液滴氣溶膠
- **下游掃描**：使用氣溶膠光度計（Photometer）在下游出風面距離 ≤ 25.4 mm 處以 S 形軌跡全面掃描
- **穿透率計算**：即時比對上下游濃度比值，計算局部穿透率判定是否存在洩漏
- **邊框檢測**：針對濾網邊框、膠合處、墊片及安裝縫隙進行重點掃描，找出安裝洩漏
## 測試流程
1. **測試前確認**：檢視濾網型號、尺寸、安裝狀態與回風系統運行
2. **風速量測**：依 ISO 14644-3 量測出風面平均風速，確認在額定範圍
3. **上游濃度建立**：注入 PAO 後於上游取樣，確認濃度 10~100 μg/L 且均勻度 ≤ ±15%
4. **下游掃描檢漏**：以 ≤ 50 mm/s 速度全面掃描濾網出風面與四周接合處
5. **洩漏點標記**：發現穿透率超標位置以標籤標示並通知施工單位修補
6. **複測驗證**：修補後重新掃描至全數合格
7. **出具報告**：提供測試報告書、洩漏點位置圖、合格標籤與校驗追溯文件
## 合格判定標準
## 測試原理
- **上游注入**：以冷式 / 熱式氣溶膠發生器於濾網上游產生粒徑約 0.3 μm 的 PAO 液滴氣溶膠
- **下游掃描**：使用氣溶膠光度計（Photometer）在下游出風面距離 ≤ 25.4 mm 處以 S 形軌跡全面掃描
- **穿透率計算**：即時比對上下游濃度比值，計算局部穿透率判定是否存在洩漏
- **邊框檢測**：針對濾網邊框、膠合處、墊片及安裝縫隙進行重點掃描，找出安裝洩漏
## 測試流程
1. **測試前確認**：檢視濾網型號、尺寸、安裝狀態與回風系統運行
2. **風速量測**：依 ISO 14644-3 量測出風面平均風速，確認在額定範圍
3. **上游濃度建立**：注入 PAO 後於上游取樣，確認濃度 10~100 μg/L 且均勻度 ≤ ±15%
4. **下游掃描檢漏**：以 ≤ 50 mm/s 速度全面掃描濾網出風面與四周接合處
5. **洩漏點標記**：發現穿透率超標位置以標籤標示並通知施工單位修補
6. **複測驗證**：修補後重新掃描至全數合格
7. **出具報告**：提供測試報告書、洩漏點位置圖、合格標籤與校驗追溯文件
## 合格判定標準| 濾網等級 | 整體效率 | 局部穿透率上限（PAO Scan） |
|---|---|---|
| HEPA H13 | ≥ 99.95% | ≤ 0.01% |
| HEPA H14 | ≥ 99.995% | ≤ 0.01% |
| ULPA U15 | ≥ 99.9995% | ≤ 0.005% |
| ULPA U16 | ≥ 99.99995% | ≤ 0.005% |
＊ 掃描過程中任一點位瞬時讀值超過上限，即判定為洩漏點，須現場修補或更換濾網後複測。
## 使用儀器
- **氣溶膠光度計（Aerosol Photometer）**：ATI TDA-2i 或同級品，動態範圍 0 ~ 100 μg/L，解析度 0.001%
- **氣溶膠發生器（PAO Generator）**：冷式（Laskin Nozzle）或熱式，依濾網面積選用
- **粒子計數器（Particle Counter）**：採樣流量 2.83 L/min（0.1 CFM），粒徑通道 0.3 / 0.5 / 1 / 3 / 5 μm
- **風速儀 / 風量罩**：量測濾網出風面風速與總風量
## 適用場合
- 半導體、TFT-LCD、OLED 無塵室 Class 1 ~ Class 10,000
- 生技製藥 GMP A / B / C / D 級無菌區
- 醫院手術室、ICU、隔離病房、負壓病房
- 生物安全櫃（BSC）、層流工作台、手套箱
- 製藥分裝線、無菌填充線、RABS / Isolator
- 核能設施 HEPA 過濾系統、AMC 排氣處理系統
## 服務承諾
- 測試人員具備 IEST / ISO 14644 訓練合格資格
- 儀器每年送原廠校驗，附校驗追溯文件
- 提供中英文雙語測試報告
- 全台到府服務，含夜間與假日工程配合
◎ 測試標準：IEST-RP-CC034 / ISO 14644-3 / FED-STD-209E ◎ 報告格式：PDF + 實體簽章本 ◎ 歡迎依客戶 SOP 客製測試方案
