耐高溫濾網
NIPPON MUKI 日本無機 ULPA/HEPA 低發塵耐高溫濾網(350℃)
產品概述
本公司代理經銷日本無機(Nippon MUKI)之耐高溫HEPA濾網,也有本身台製低發塵耐溫濾網,相較台製耐高溫濾網,烤箱升溫到300度以上,及造成自體發塵(本身濾網玻璃纖維釋出),導致汙染整體製程,此情況下,在要求嚴苛的半導體製程中,常會造成晶圓良率過低。
產品特性
Nippon Muki (日本無機),研發出新一代低發塵耐高溫濾網,即便高溫狀態,也能將發塵量降到個位數甚至更低,因此可長時間在高溫350度維持HEPA等級的過濾效率,即便在400度也能維持兩小時左右的低發塵。
詳細說明
高效率350℃耐高溫濾網
HEPA 99.97%:
HEPA 99.97%高效率過濾網可過濾0.3微米粉塵,高達99.97%的效率,在高溫烘烤下仍可以維持0.3um99.97%效率。HEPA 99.97%過濾效率比HEPA 95%高,相對烤箱內潔淨度也大幅的提升。
HEPA 95%:
其效率介於HEPA 99.97%及中效率95%之間,雖效率等級比HEPA 99.97%較低,但其壓力損失卻降低許多,故壽命也較長,因壓力損失降低,風量因此而增加,機器負荷降低,可達節能省電。
主要代理型號:GCW、GCV、ATMV、ATMVC、ATMCU、GCV、ATMH、ATMCH等。
採特殊低發塵設計。
不使用密封膠,使用特殊密封方式,不會有密封材碎裂等特性。
特殊耐高溫墊片,高溫下不會有附著在箱體之情形,適合長時間使用。
尺寸均可以客製化生產。
LCD廠、封測廠、半導體廠無塵烤箱專用濾網。





