プロフェッショナルサービス
PAO検漏テスト
製品概要
PAO(Poly-Alpha-Olefin)検漏テストは、クリーンルームのHEPA / ULPA高効率エアフィルターの現場完全性およびリーク検出の標準的手法です。佰聖科技はIEST-RP-CC034、ISO 14644-3および米国連邦規格FED-STD-209Eに基づき、エアロゾル発生器を使用してフィルター上流でPAO標準油エアロゾルを均一に発生させ、エアロゾル光度計(Photometer)で下流の吹出面およびフィルターと枠体の接合部を全面スキャンします。これによりフィルター本体の損傷、枠体接着部のリーク、取付シールの密閉性を判定し、クリーンルームの清浄度等級およびGMPバリデーション要件を確保します。
特長・仕様
| 項目 | 仕様 / 方法 |
|---|---|
| テスト基準 | IEST-RP-CC034 / ISO 14644-3 / FED-STD-209E |
| 適用フィルター | HEPA(H13/H14)、ULPA(U15以上) |
| テストエアロゾル | PAO(Poly-Alpha-Olefin)* FDA食品グレード準拠 |
| 上流濃度 | 10 ~ 100 μg/L |
| スキャン速度 | ≤ 50 mm/s |
| プローブとフィルターの距離 | ≤ 25.4 mm (1 inch) |
| サンプリング流量 | 28.3 L/min(1 CFM)± 10% |
| 合格判定 | 下流透過率 ≤ 0.01%(H14)/ ≤ 0.005%(ULPA) |
| レポート内容 | テストレポート + リーク位置図 + 合格ラベル |
詳細説明
## サービス内容
佰聖科技はクリーンルームのHEPA / ULPA高効率フィルター現場完全性テスト(PAO Leak Test)サービスを提供します。テスト前の風量/風速確認、エアロゾル均一性の検証、全面積スキャン検漏、漏れ箇所の修復提案、合格ラベリングおよび正式な検証レポートを含み、半導体、光電、医療バイオ、製薬GMPおよび医療機関などのクリーン環境で広く適用されています。
## テスト原理
- **上流注入**:冷式/熱式エアロゾル発生器でフィルター上流に粒径約0.3 μmのPAO液滴エアロゾルを発生
- **下流スキャン**:エアロゾル光度計(Photometer)を使用し、下流吹出面から≤ 25.4 mmの距離でS字軌跡で全面スキャン
- **透過率計算**:上下流の濃度比を即時比較し、局所透過率を計算して漏れを判定
- **枠体検査**:フィルター枠、接着部、パッキン、取付隙間を重点的にスキャンし、取付漏れを検出
## テストフロー
1. **テスト前確認**:フィルター型式、サイズ、取付状態、リターンエアシステムの稼働を確認
2. **風速測定**:ISO 14644-3に従い吹出面の平均風速を測定し、定格範囲内を確認
3. **上流濃度確立**:PAO注入後、上流でサンプリングし、濃度10~100 μg/Lおよび均一性 ≤ ±15%を確認
4. **下流検漏スキャン**:≤ 50 mm/sの速度でフィルター吹出面と周囲接合部を全面スキャン
5. **漏れ箇所マーキング**:透過率超過箇所をラベルで標示し、施工部門に通知して修復
6. **再テスト検証**:修復後に再スキャンし、全数合格まで実施
7. **レポート発行**:テストレポート、漏れ箇所位置図、合格ラベルおよび校正トレーサビリティ文書を提供
## 合格判定基準
## テスト原理
- **上流注入**:冷式/熱式エアロゾル発生器でフィルター上流に粒径約0.3 μmのPAO液滴エアロゾルを発生
- **下流スキャン**:エアロゾル光度計(Photometer)を使用し、下流吹出面から≤ 25.4 mmの距離でS字軌跡で全面スキャン
- **透過率計算**:上下流の濃度比を即時比較し、局所透過率を計算して漏れを判定
- **枠体検査**:フィルター枠、接着部、パッキン、取付隙間を重点的にスキャンし、取付漏れを検出
## テストフロー
1. **テスト前確認**:フィルター型式、サイズ、取付状態、リターンエアシステムの稼働を確認
2. **風速測定**:ISO 14644-3に従い吹出面の平均風速を測定し、定格範囲内を確認
3. **上流濃度確立**:PAO注入後、上流でサンプリングし、濃度10~100 μg/Lおよび均一性 ≤ ±15%を確認
4. **下流検漏スキャン**:≤ 50 mm/sの速度でフィルター吹出面と周囲接合部を全面スキャン
5. **漏れ箇所マーキング**:透過率超過箇所をラベルで標示し、施工部門に通知して修復
6. **再テスト検証**:修復後に再スキャンし、全数合格まで実施
7. **レポート発行**:テストレポート、漏れ箇所位置図、合格ラベルおよび校正トレーサビリティ文書を提供
## 合格判定基準| フィルター等級 | 総合効率 | 局所透過率上限(PAO Scan) |
|---|---|---|
| HEPA H13 | ≥ 99.95% | ≤ 0.01% |
| HEPA H14 | ≥ 99.995% | ≤ 0.01% |
| ULPA U15 | ≥ 99.9995% | ≤ 0.005% |
| ULPA U16 | ≥ 99.99995% | ≤ 0.005% |
* スキャン中に任意の箇所で瞬時読取値が上限を超えた場合、漏れ箇所と判定され、現場で修復またはフィルター交換後に再テストを行う必要があります。
## 使用機器
- **エアロゾル光度計(Aerosol Photometer)**:ATI TDA-2iまたは同等品、ダイナミックレンジ0 ~ 100 μg/L、分解能0.001%
- **エアロゾル発生器(PAO Generator)**:冷式(Laskin Nozzle)または熱式、フィルター面積に応じて選定
- **粒子計数器(Particle Counter)**:サンプリング流量2.83 L/min(0.1 CFM)、粒径チャネル0.3 / 0.5 / 1 / 3 / 5 μm
- **風速計 / 風量フード**:フィルター吹出面風速および総風量を測定
## 適用分野
- 半導体、TFT-LCD、OLEDクリーンルーム Class 1 ~ Class 10,000
- バイオ製薬GMP A / B / C / D級無菌区域
- 病院手術室、ICU、隔離病棟、陰圧病棟
- バイオセーフティキャビネット(BSC)、層流作業台、グローブボックス
- 製薬充填ライン、無菌充填ライン、RABS / Isolator
- 原子力施設HEPA濾過システム、AMC排気処理システム
## サービスの約束
- テスト担当者はIEST / ISO 14644訓練認定資格保有
- 機器は毎年メーカー校正、校正トレーサビリティ文書添付
- 中英バイリンガルテストレポートを提供
- 台湾全土出張サービス、夜間および休日作業にも対応
◎ テスト基準:IEST-RP-CC034 / ISO 14644-3 / FED-STD-209E ◎ レポート形式:PDF + 実体押印本 ◎ お客様のSOPに応じたカスタムテストプラン歓迎
