活性炭ケミカルフィルター
Nikon露光機用／PCDAケミカルフィルター
製品概要
ケミカルフィルターは主にアルカリ性物質（アンモニア、アミン類など）、酸性物質（塩化水素、硫化水素、二酸化硫黄など）、有機物質（高沸点有機物、シロキサンなど）の濾過に使用されます。
特長・仕様
製造装置内や設備配管内の清浄化を提供し、給排気系統に使用される圧縮空気中の微量ガスを除去、製品梱包時の塵埃除去、N2 Pure類ガスの代替として使用できます。
詳細説明
PCDAケミカルフィルターは以下の用途で使用されます：
半導体、液晶露光装置、計測機器周辺機器、検査工程。
ボンディング装置、レーザー加工機など。
太陽電池ガラス基板加工、食品加工、再生医療、分析機器。
以下のメリットを備えています：
簡単な取付作業。圧縮空気配管と直接インラインで接続可能。
酸性ガス、アルカリ性ガス、有機系ガスを除去可能。
流量や除去対象ガスを自由に設計可能。
製品仕様：
| 風量 | 型式 | 寸法 | 接続 | 本体 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|
| 30^/mim | PG-F32A38S158TS | 080x158mm | Rc 3/8in | SUS304 | 約2kg |
| 50^/mim | PG-F50A38S258TS | 0100x258mm | Rc 3/8in | SUS304 | 約4kg |
| 100^/mim | PG-F100A12S258TS | 0170x258mm | Rc 1/2in | SUS304 | 約10kg |
