耐高温フィルター
NIPPON MUKI 日本無機 ULPA/HEPA 低発塵耐高温フィルター(350°C)
製品概要
当社は日本無機(Nippon MUKI)の耐高温HEPAフィルターの代理販売を行っており、自社製の台湾製低発塵耐高温フィルターも提供しています。一般的な台湾製耐高温フィルターでは、オーブンを300°C以上に昇温すると、フィルター自体のガラス繊維から発塵(自己発塵)が発生し、プロセス全体を汚染する原因となります。厳しい要求が求められる半導体プロセスでは、ウエハの歩留まり低下を引き起こす場合があります。
特長・仕様
Nippon Muki (日本無機)は新世代の低発塵耐高温フィルターを開発しました。高温状態であっても発塵量を一桁台、あるいはそれ以下に抑えることが可能で、350°Cの高温下でも長時間にわたりHEPAクラスのろ過効率を維持し、400°Cでも約2時間にわたり低発塵性を保つことができます。
詳細説明
高効率350°C耐高温フィルター
HEPA 99.97%:
HEPA 99.97%高効率フィルターは0.3ミクロンの粉塵を99.97%の効率で捕集可能で、高温焼成下でも0.3um 99.97%の効率を維持します。HEPA 99.97%はHEPA 95%よりもろ過効率が高く、オーブン内の清浄度も大幅に向上します。
HEPA 95%:
効率はHEPA 99.97%と中性能95%の中間で、HEPA 99.97%よりは低いものの圧力損失が大幅に低減されるため、寿命が長くなります。圧力損失が低減されることで風量が増加し、機械の負荷も低下、省エネ・節電効果が得られます。
主な取扱型番:GCW、GCV、ATMV、ATMVC、ATMCU、GCV、ATMH、ATMCH 等。
特殊な低発塵設計を採用。
密封剤を使用せず特殊な密封方式を採用。密封材の破損もありません。
特殊耐高温ガスケット。高温下でも筐体に張り付くことがなく、長時間の使用に適合。
サイズはすべてカスタマイズ生産可能。
LCD工場、封止・テスト工場、半導体工場向けクリーンオーブン専用フィルター。
