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恆溫恆濕化學過濾空調箱

 

產品概述

由於Toray機台會產生光學鏡頭霧化之情形,因此對於增加lens壽命,使用化學濾網過濾酸、鹼、有機的物質,以減少 PGMEA、CH3COOH、NH3所產生有機及無機物。

產品特性

►設備架構(僅供參考,可客製化不同尺寸及風量設計)◄

-SUS304亮面箱體

-5HP單相220V 60Hz(東元馬達), 120cmm/80mmAq風機

-濾酸化學濾網x1, 濾鹼化學濾網x1, 濾有機化學濾網x2, HEPA x1 

-10”蛇管 80m

-FFU入封口固定座6pcs

-台達(Delta)變頻器 VFD_M


本 機 器 可 根 據 需 求 客 製 化

SPEC:

供氣口:D300mm *4 D150mm*2

溫度保證:23±0.5℃

濕度保證:55±10%

供氣流量保證:≧150CMM

供氣口數:6

供氣方式:恆流量控制(文式流量閥)

Power:3p380VAC 25A

DI water:1LPM

7℃ chiller water:3CMH

30℃ hot water:1.5CMH