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半導體設備耗材 > TC Wafer (可作客製)
TC Wafer (可作客製)

 

產品概述

►TC為熱電偶(Thermocouple)之簡稱,TC Wafer則是直接鑲嵌于晶圓表面之溫度感測器,達成晶圓溫度即時量測。

►藉由放置于晶圓表面特定位置之溫度感測器,可獲得這些特定位置之真實溫度量測值以及整體晶圓溫度分布;同時,亦可利用此感測器來持續監控在熱處理過程中之晶圓暫態溫度變化,例如:升溫、降溫過程及延遲週期等。(溫度的均勻與否關係良率)


熱 電 偶 種 類◄

 

K-Type 簡 介◄

晶圓尺寸:2~12”
組成:
   -耐溫線、耐高溫線路板、保護管線
   -提供標準長度 &客製
使用溫度範圍: ~ 800℃
精度: ±1.1℃ or ±0.4%
最大接點數:
2" 4" 6" 8" 12"
   1點       5點     5~9點     9點    9~13點

T/C 保護線材質:氧化鋁纖維管&石英微管

T/C 微型接頭:Min Plus
 
示 意 圖
 

►產 品 應 用 面◄

 

►其 他 應 用◄