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金屬晶舟盒

 

產品概述

可客製化各類型之2“~12”金屬晶舟盒(Metal Cassette ) 用於支援手動及自動化晶圓處理,並可承受高溫之應用。

特性:
→無塵室相容性材料
→開放式設計可改進熱對流
→人體工學把手,方便手動取放
→有防滑桿設計可防止滑片
→耐受溫度高達450 ℃