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半導體設備耗材 > 晶圓旋乾機
晶圓旋乾機

 

產品概述

◎專為清洗旋乾半導體晶圓、LED晶圓、光罩跟基材而設計設備
→可程式控制器可供操作使用者設定製程參數
→機台的運轉情形可由機台上的液晶顯示器得知