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快速升溫爐(RTP)

 

產品概述

◎客製半導體&LED廠快速升溫爐(RTP)
→以鹵素燈管(Halogen lamp)為加熱源,分由上、下、左、右同步輻射加熱製品
→製品外緣由石英腔體隔絕,再外則為水冷鋁合金外腔結構做快速昇降溫
→昇溫速率最高可達80℃~150℃/sec


產品特性

a. 應用尺寸: 2”~ 8”

b. 溫度上升速率: 每秒80度~150度 

c. 溫度均勻性: ±1%