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TCU (Thermal Control Unit, TCU) 恆溫恆濕機

 

產品概述

提供面板業、晶圓廠、封裝測試廠精密溫濕度控制確保曝光機、顯影/塗佈設備等的制作工程設備,主要功能為產品進行漏光工序前,經過此 設備讓產品表面溫度維持在23℃±0.1℃,增加製程良率。 產品溫度控制原理: 把空調機產生的精密溫度空氣通過ULPA FILTER 後,直接把冷空氣送至產品表面,達到快速降溫及恒溫的效果。

產品特性


  1. 可調控精度至小數第二位

  2. 控溫範圍最小可做至±0.05

  3. 可控溫範圍為22℃~25℃

  4. 變頻式壓縮機及風車以及PID微控溫